Optische und Rasterelektronen-Mikroskopie

Die im materialographischen Labor präparierten Proben können mit folgenden Licht- und Elektronenmikroskopen untersucht werden:

• Digitales Auflichtmikroskop BX53M von Olympus mit den Vergrößerungen 50x, 100x und 500x. Zur Verfügung stehen Hellfeld, Dunkelfeld und differentieller Interferenzkontrast.
• Digitalmikroskop VHX-1000 (Keyence) mit Vergrößerungen von 20x bis 1000x. Zur Verfügung stehen Hellfeld, Dunkelfeld, differentieller Interferenzkontrast, motorisierte z-Achse und Freiwinkelbetrachtung.
• Tisch-REM SH-5000P (Hirox) inklusive EDX-System Quantax (Bruker). Das Wolframkathoden-REM verfügt über die Beschleunigungsspannungen 5, 10, 15, 20, 30 kV. Neben dem EDX-Detektor stehen SE2- und BSE-Detektor zur Verfügung.
• Rasterelektronenmikroskop Apreo S LoVac (FEI) inklusive eines integrierten EDX-EBSD-Systems Pegasus (EDAX). Das REM selbst verfügt über eine Schottky Feldemissionskathode, einen SE2-Detektor, das Trinity Detektionssytem bestehend aus 2 verschiedenen in-lens und einem in-column-Detektor sowie einem einfahrbaren DBS-Detektor für Rückstreuelektronen. Der low-vacuum Modus erlaubt die Arbeit bei Kammerdrücken von 10 bis 500 Pa. Zusätzlich ist ein Plasma Cleaner integriert.